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系列 |
商品特征 |
规格概要 |
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A/B TYPE |
．气压控制型主动式除震台 ．具FF、FB等主动式控制模式 ．适用于半导体制造设备、 高精度检查设备 |
．输入电源： 单相50/60Hz AC 85~264V ．单颗支撑载重范围： 290 ~ 3950kg |
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L Type |
．线性马达型主动式除震台 ．具FF、FB等主动式控制模式 ．适用于扫描型探针显微镜、 扫描型电子显微镜 |
．输入电源： 单相50/60Hz AC 85~264V ．单颗支撑载重范围： 30 ~ 750kg |
产 品 中 心
PRODUCT CENTER
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